一、產品概述

ULVAC愛發科CR300B是一款多級羅茨型干式真空泵，為CR系列Ver.B中的大抽速型號，在國際標準認證、運行經濟性和結構可靠性等方面均有全面考量。該泵獲得CE、cTUVus國際標準認證，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析儀器以及一般工業設備等眾多領域。

CR300B的設計定位介于中高真空需求場景，在實現300 m3/h大抽速的同時，維持了優異的極限真空性能和無油潔凈運行能力。作為空冷式羅茨型干泵，該型號面向需要高吞吐率、低運行成本和潔凈真空環境的各類工業與科研應用。

二、多級羅茨工作原理

多級羅茨型干泵的核心構造是在稱為殼體的箱體內配置兩支具有三葉截面形狀的轉子，轉子通過一對齒輪驅動，以相同頻率沿相反方向旋轉。轉子之間以及轉子與殼體之間保持微小間隙，不直接接觸，依靠轉子旋轉過程中容積的周期性變化實現氣體的吸入、輸送和壓縮。

CR300B的多級結構指的是轉子沿軸向串聯了多個壓縮級，各級之間通過級間流道實現氣體連通。氣體從進氣口被第一級轉子吸入后，逐級向后傳遞并在每一級中被進一步壓縮，最終從排氣口排出。這一多級壓縮機制使得泵在大氣壓力下即可直接啟動，無需額外的前級泵輔助，能夠在全壓力范圍內穩定運行。

在密封方面，CR300B的軸承和齒輪等旋轉部件使用專用潤滑油進行潤滑，但通過精密密封件嚴格隔離，確保泵體排氣室內不接觸真空油。轉子與氣缸之間為無接觸運行，從結構層面真空油的返流和油霧污染問題，所形成的真空環境清潔無油，滿足精密制造工藝對真空潔凈度的嚴苛要求。

三、核心性能與規格參數

CR300B的主要技術參數如下：

在CR系列產品線中，CR300B是抽速最大的型號，CR16B（16 m3/h）至CR60B（55 m3/h）覆蓋了較小抽速范圍的應用需求，CR300B則以300 m3/h的大抽速面向中高吞吐率的工業場景。

四、核心特點與技術優勢

4.1 無油非接觸運行

CR300B的排氣室內不使用真空油，轉子與氣缸之間為無接觸運行狀態。這一結構特性消除了摩擦部件的機械磨損因素，大幅延長了泵的使用壽命；同時從根本上杜絕了真空油返流和油霧排放問題，所獲得的真空環境潔凈無油，特別適用于對顆粒污染和有機揮發物敏感的高制造工藝。

4.2 空冷設計，無需冷卻水和氮氣

CR300B采用空冷散熱設計，無需配置冷卻水循環系統。相較于需要冷卻水支持的傳統真空泵，該設計免去了冷卻水配管安裝、水質管理和設備維護等一系列工作，顯著降低了安裝成本和運營支出。同時，該泵無需軸封氮氣等輔助氣體，進一步簡化了運行條件，尤其適合冷卻水供應不便或希望最大限度降低公用工程依賴的場所。

4.3 大抽速規格，兼顧緊湊型設計

CR300B以300 m3/h的大抽速在中速干泵產品中具備突出的抽氣能力，適用于需要快速排氣的工藝場景，如濺射鍍膜前的快速腔室抽空、裝載/卸載腔間的快速工藝周轉等。盡管抽速顯著，該型號仍維持了緊湊的機身尺寸，在批量生產型真空設備的集成空間中具有良好的適配性。

4.4 DC密封電機帶來的節能與減重

CR300B搭載了DC密封電機，該電機具有低功耗、高氣密性和輕量化的特點。DC密封電機的驅動效率較傳統電機有所提升，無需額外的軸封結構即可保持電機側的氣密性，同時電機的輕量化設計對整機重量的降低亦有貢獻。

4.5 氣鎮機構支持水分處理

CR300B可選配氣鎮閥（Gas Ballast）機構（針閥或電磁閥+針閥形式），引入適量干燥氣體進入泵腔，防止水蒸氣在壓縮過程中凝結。在使用氣鎮機構時，泵的最大水蒸氣處理量可達500 g/h，顯著提升了對含水蒸氣工藝環境的適應能力，特別適用于真空干燥等需大量排水的應用場景。

4.6 CE/cTUVus國際標準認證

CR300B通過了CE和cTUVus兩項國際安全與合規性認證，這是該泵可在全球范圍內推廣和應用的關鍵資質保障。CE認證確保了泵在歐盟市場的合規性，cTUVus認證則確認了泵符合北美（美國/加拿大）安全標準，無需在出口至不同地區時進行特殊版本調整。

4.7 適配ECO-SHOCK節能裝置

CR300B可選配ECO-SHOCK節能附件，該裝置安裝于干泵的排氣線路上，可在不影響抽氣速度和真空性能的前提下大幅降低功耗。根據ULVAC發布的數據，ECO-SHOCK可使干泵的電力消耗最大減少80%（與公司常規產品相比），并同時抑制泵的發熱量，間接降低空調設備的電力消耗。這一節能特性對于需要長時間連續運行或頻繁啟停的工藝設備而言具有顯著的經濟效益和低碳價值。

五、主要應用領域

CR300B的應用覆蓋從高潔凈度制造到一般工業的多種場景，典型應用包括：

真空鍍膜設備：CR300B作為濺射鍍膜（Sputtering）、蒸鍍（Evaporation）等PVD工藝設備的核心真空泵組應用，滿足真空鍍膜工藝對高清潔度及快速排氣能力的雙重需求。

半導體制造工藝：抽取空氣、惰性氣體（氮氣、氬氣等）等潔凈氣體的真空排氣應用。在半導體制造設備中，CR300B作為干泵于刻蝕、沉積或裝載/卸載腔等工序中提供清潔、無油的真空環境。

真空干燥設備：CR300B的氣鎮機構專為真空干燥中的水蒸氣排氣任務設計。在使用氣鎮條件下，該泵可穩定排出工藝過程中的水分，適用于食品、制藥及電子元器件等行業的真空干燥設備。

裝載/卸載腔抽空：CR300B的大抽速特性使其特別適合頻繁需要在真空與大氣之間切換的裝載/卸載腔等場合。在此類應用中，快速抽空能力直接影響設備的整體工藝吞吐量。

電子元器件制造：FPD（平板顯示器）制造、電子元器件生產等對真空潔凈度要求嚴格的工藝環節中，CR300B的無油運行可有效避免顆粒和油霧污染。

大學與研究機構：為實驗室真空系統、新材料研究工藝設備等提供穩定可靠的清潔真空，其無油設計可保證科研結果不受泵源污染的干擾。

六、使用注意事項

為保證CR300B的正常運行和使用壽命，在實際應用中需注意以下幾點：

禁止抽除腐蝕性或有害氣體：CR300B主要適用于空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣，禁止抽吸爆炸性氣體、氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體和有機溶劑。尤其需要注意的是，ECO-SHOCK節能裝置不得用于抽除腐蝕性、易燃或有毒氣體的泵。

水蒸氣排氣需配置氣鎮機構：當工藝環境中存在水蒸氣且需要排出水分時，必須使用氣鎮機構。最大水蒸氣處理量（<500 g/h）是在使用氣鎮時的測量值，在無水鎮氣條件下直接抽除大量水分可能導致水蒸氣在泵內凝結，影響泵的性能和可靠性。

電源規格訂購時需明確：CR300B僅支持三相200V電源，訂購時請注明所需相位和電壓。CR系列其他型號（如CR16B）支持多種電源規格，但CR300B電源選擇較為固定，須在訂購時向供應商清晰說明。

室內使用，注意環境溫度：CR300B為室內使用設備，不得安裝于室外或可能遭受雨淋、浸水等惡劣環境的位置。使用環境溫度應維持在5～40℃的推薦范圍內，超出此范圍可能影響泵的運行性能和壽命。

七、總結

ULVAC愛發科CR300B多級羅茨型干泵的定位介于中高速干泵市場，以300 m3/h大抽速、≤0.5 Pa極限壓力、無油運行及空冷設計的綜合性能，在真空鍍膜、半導體制造和真空干燥等關鍵工業領域實現了高效部署。該泵適配ECO-SHOCK節能裝置的功能進一步提升了其運行的經濟效益與低碳價值，是低運行成本、高可靠性干式真空解決方案的理想選擇。