一、產(chǎn)品概述

ULVAC愛發(fā)科RDA-281HA是一款多級羅茨型干式真空泵，屬于RDA系列中的經(jīng)濟(jì)型型號。該泵采用六級排氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)并內(nèi)置恒溫器，在無需工作液的前提下實(shí)現(xiàn)了與油回轉(zhuǎn)泵同等的性能水平。RDA-281HA的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋分析儀器、氣體回收系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、渦輪分子泵的前級泵、氦質(zhì)譜檢漏儀以及半導(dǎo)體制造工藝等眾多場景。

RDA-281HA與同系列RDA-281H的主要區(qū)別在于認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)與電源適配能力——RDA-281HA獲得cTUVus認(rèn)證，可適配單相100～115V/200～240V及三相200～240V多種電源，在不同國家和地區(qū)均有良好的兼容性。

二、多級羅茨工作原理

多級羅茨型干泵的核心結(jié)構(gòu)是在泵殼內(nèi)部平行配置兩支具有三葉截面形狀的轉(zhuǎn)子，通過一對齒輪驅(qū)動，使兩轉(zhuǎn)子以相同頻率沿相反方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與殼體之間始終保持微小間隙，不直接接觸，以此實(shí)現(xiàn)氣體的吸入、輸送和壓縮。

RDA-281HA的多級設(shè)計(jì)是多級羅茨技術(shù)的重要體現(xiàn)——在同一根轉(zhuǎn)子軸上串聯(lián)了多級羅茨型轉(zhuǎn)子，各級轉(zhuǎn)子通過中間壁隔離開，形成多個(gè)相對獨(dú)立的泵腔，上一級的排氣口與下一級的進(jìn)氣口通過級間氣流通道相連，實(shí)現(xiàn)氣體的逐級壓縮與輸送。這種串聯(lián)結(jié)構(gòu)使得泵能夠在大氣壓力下直接啟動排氣，并將氣體壓縮至大氣壓以上后排出，無需額外的前級泵輔助。

在該泵的密封設(shè)計(jì)中，齒輪和軸承等旋轉(zhuǎn)部件使用油進(jìn)行潤滑，但通過精密的密封結(jié)構(gòu)嚴(yán)格隔離，確保潤滑油不會進(jìn)入泵體內(nèi)的排氣腔室，從而在根本上杜絕了真空油進(jìn)入被抽容器或污染環(huán)境的可能性。

三、核心性能與規(guī)格參數(shù)

RDA-281HA的主要技術(shù)參數(shù)如下所示：

數(shù)據(jù)來源：

RDA-281HA的泵體在低溫范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)均勻加熱，使其在PVD工藝以及裝載/卸載室的排氣應(yīng)用中具有顯著優(yōu)勢，能夠有效縮短排氣時(shí)間并提高設(shè)備吞吐量。

四、核心特點(diǎn)與技術(shù)優(yōu)勢

4.1 大排氣量與小型化設(shè)計(jì)

RDA-281HA在280 L/min有效抽速的規(guī)格下，實(shí)現(xiàn)了高度緊湊的機(jī)身尺寸，寬度僅180 mm、高度僅377 mm。大排氣量、小型尺寸的設(shè)計(jì)理念使其能夠輕松集成到空間受限的設(shè)備中，尤其適合半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等對占地面積有嚴(yán)格要求的應(yīng)用場景。

4.2 全壓力范圍連續(xù)運(yùn)行能力

RDA-281HA突出的技術(shù)特性之一是其從大氣壓到極限壓力全壓力范圍內(nèi)的連續(xù)運(yùn)行能力。傳統(tǒng)真空泵往往需要在一定壓力區(qū)域內(nèi)運(yùn)行方可達(dá)到最佳性能，而RDA-281HA憑借多級羅茨結(jié)構(gòu)的優(yōu)異壓縮特性，可在任意壓力區(qū)間穩(wěn)定工作，對于需要頻繁啟停或在變壓力條件下運(yùn)行的工藝具有獨(dú)特優(yōu)勢。

4.3 優(yōu)異的水蒸氣耐受能力

RDA-281HA的最大水分吸引量可達(dá)300 g/h，具備出色的耐水蒸氣性能。這一特性使其特別適用于處理含水蒸氣或濕氣較高的工藝環(huán)境，如真空干燥、冷凍干燥等應(yīng)用場景。

4.4 無需冷卻水的節(jié)能設(shè)計(jì)

傳統(tǒng)真空泵往往需要配置水冷系統(tǒng)以維持正常運(yùn)行溫度，而RDA-281HA采用自然散熱設(shè)計(jì)，無需冷卻水。這一設(shè)計(jì)大幅降低了設(shè)備的安裝成本和運(yùn)營費(fèi)用，免去了冷卻水配管、水質(zhì)管理等一系列維護(hù)工作，尤其適用于冷卻水供應(yīng)不便的場所。

4.5 單相/三相電源通用設(shè)計(jì)

RDA-281HA支持單相100～115V/200～240V和三相200～240V的多種電源電壓，同一型號即可適配不同國家和地區(qū)的供電標(biāo)準(zhǔn)，在全球范圍內(nèi)均具有良好的兼容性。這一特性顯著提升了設(shè)備的通用性和部署靈活性。

4.6 無滑動部件的長壽命設(shè)計(jì)

RDA-281HA的轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)通過非接觸方式旋轉(zhuǎn)運(yùn)行，不存在滑動摩擦部件，使用壽命大幅延長。同時(shí)，泵體內(nèi)部不使用真空油，消除了真空油的返流和油霧污染問題，所獲得的真空環(huán)境潔凈無油，能夠滿足半導(dǎo)體、FPD、電子器件等行業(yè)對清潔真空的嚴(yán)格要求。

五、主要應(yīng)用領(lǐng)域

RDA-281HA的廣闊應(yīng)用范圍涵蓋以下典型場景：

半導(dǎo)體與電子器件制造：作為刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等半導(dǎo)體工藝設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)組成部分，滿足高潔凈真空需求。

真空鍍膜設(shè)備：在濺射鍍膜、蒸鍍等PVD工藝中作為真空系統(tǒng)的核心泵組，其低溫范圍內(nèi)均勻加熱的特性尤其適合PVD工藝中的裝載和卸載室排氣。

真空熱處理爐：應(yīng)用于燒結(jié)爐、滲碳爐等熱處理設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)在全壓力范圍內(nèi)的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

分析儀器與氣體回收系統(tǒng)：作為質(zhì)譜分析儀、氣體回收系統(tǒng)的真空源，提供可靠的清潔真空環(huán)境。

渦輪分子泵前級泵：作為渦輪分子泵的前級粗抽泵，構(gòu)建高真空抽氣系統(tǒng)。同時(shí)也可作為氦質(zhì)譜檢漏儀的配套泵使用。

鋰電池制造設(shè)備：應(yīng)用于電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等鋰電池生產(chǎn)環(huán)節(jié)的真空排氣系統(tǒng)。

醫(yī)療與食品設(shè)備：應(yīng)用于冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等對清潔度要求較高的醫(yī)療與食品加工設(shè)備。

六、使用注意事項(xiàng)

在實(shí)際使用過程中，需要注意以下幾點(diǎn)以保證RDA-281HA的正常運(yùn)行和使用壽命：

防止粉末及生成物吸入：粉末和生成物的吸入可能導(dǎo)致泵的內(nèi)部損壞，建議在進(jìn)氣口安裝吸氣阱或過濾器等防護(hù)裝置。

禁止抽除有害氣體：禁止吸入爆炸性氣體、氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體等有害介質(zhì)，此類氣體的吸入可能導(dǎo)致泵故障、爆炸或火災(zāi)等嚴(yán)重安全事故。

室內(nèi)使用限制：RDA-281HA為室內(nèi)使用設(shè)備，不得安裝在室外或可能遭受雨淋、水淹等惡劣環(huán)境的位置。

避免高溫環(huán)境運(yùn)行：盡管RDA-281HA采用自然散熱設(shè)計(jì)，但仍需確保環(huán)境溫度在5～40℃的推薦范圍內(nèi)運(yùn)行，超出此范圍可能影響泵的性能和使用壽命。

七、總結(jié)

ULVAC愛發(fā)科RDA-281HA多級羅茨型干泵是集大抽速、小型化、無需冷卻水、無油潔凈于一身的高性能真空解決方案。其六級多級羅茨結(jié)構(gòu)與內(nèi)置恒溫器設(shè)計(jì)賦予了設(shè)備全壓力范圍連續(xù)運(yùn)行的能力，280 L/min的有效抽速與僅38 kg的輕量機(jī)身使其在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器及鋰電池生產(chǎn)等諸多領(lǐng)域皆可實(shí)現(xiàn)高效部署，是油回轉(zhuǎn)泵的理想替代方案。