在半導體制造、平板顯示、真空鍍膜等制造領(lǐng)域，獲得清潔、穩(wěn)定、可靠的真空環(huán)境是確保工藝品質(zhì)的基礎(chǔ)前提。傳統(tǒng)的油封式真空泵存在油蒸汽返流污染腔室的風險，而隨著環(huán)保法規(guī)日趨嚴格和工藝要求不斷提升，無油干式真空泵已成為行業(yè)主流選擇。日本ULVAC（愛發(fā)科）推出的CR300B多級羅茨型干泵，以其風冷設(shè)計、無油運行和的極限真空性能，為中大型真空設(shè)備提供了高效可靠的真空獲得解決方案。

核心技術(shù)：多級羅茨結(jié)構(gòu)與無油非接觸設(shè)計

CR300B屬于ULVAC CR系列干式真空泵的Ver.B版本，是一款獲得國際標準（CE、cTUVus）認證的風冷羅茨型干泵。其核心技術(shù)在于多級羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)與無油的排氣室設(shè)計。

多級羅茨串聯(lián)壓縮：CR300B采用多級羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，各級轉(zhuǎn)子在氣缸內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)，通過精確控制的間隙實現(xiàn)非接觸式運轉(zhuǎn)。氣體在流經(jīng)各級壓縮腔時被逐步壓縮，最終排向大氣。這種設(shè)計既保證了高壓縮比，又避免了機械接觸帶來的磨損和潤滑需求。

無油排氣室：泵頭內(nèi)部不使用真空油，轉(zhuǎn)子與氣缸之間實現(xiàn)無接觸運轉(zhuǎn)。這意味著整個排氣過程無油參與，消除了油蒸汽向真空腔室的返流污染，確保了獲得潔凈真空，同時顯著延長了泵的穩(wěn)定運行壽命。

DC密封電機技術(shù)：CR300B配備了DC密封電機，實現(xiàn)了節(jié)能、氣密性和輕量化的多重優(yōu)勢。電機的密封結(jié)構(gòu)有效防止了外部泄漏，同時降低了功耗，符合現(xiàn)代工業(yè)對節(jié)能環(huán)保的要求。

產(chǎn)品特性：風冷節(jié)能與智能擴展

CR300B的設(shè)計充分考慮了工業(yè)應用的運行經(jīng)濟性與環(huán)境適應性，在冷卻方式、功耗控制和功能擴展方面均有突出表現(xiàn)。

風冷設(shè)計，零水耗運行：CR300B采用風冷冷卻方式，無需冷卻水和氮氣。這一設(shè)計不僅簡化了安裝條件，更大幅降低了日常運行成本，尤其適合缺水地區(qū)或希望降低公用設(shè)施投入的用戶。

氣鎮(zhèn)機構(gòu)實現(xiàn)水蒸氣抽除：泵體配備氣鎮(zhèn)機構(gòu)（Gas Ballast，選配件），通過引入適量干燥氣體，可有效防止水蒸氣在泵內(nèi)凝結(jié)，從而實現(xiàn)水蒸氣的抽除。使用氣鎮(zhèn)時，CR300B的大水蒸氣處理量可達500g/h，適用于真空干燥等需要抽除大量水蒸氣的工藝場景。

低功耗與輕量化：CR300B電機額定功率為3.0kW，整機重量100kg，在同類產(chǎn)品中實現(xiàn)了較好的功率重量比。輕量化設(shè)計降低了安裝和維護難度，而低功耗則為長期連續(xù)運行節(jié)約了可觀的電費成本。

完善的附件選項：為適應不同應用場景，CR300B提供豐富的選配件，包括針閥式或電磁閥+針閥式氣鎮(zhèn)機構(gòu)、消音器（RS-01+套件C）、簡易消音器（EFS-19-NW40/1）以及電源互換BOX等，用戶可根據(jù)實際需要進行配置。

技術(shù)規(guī)格與性能參數(shù)

CR300B作為CR系列中的中大流量機型，其核心性能參數(shù)如下表所示：

工作原理與工作流程

CR300B的工作原理基于多級羅茨轉(zhuǎn)子對氣體的捕獲、壓縮和排出。當電機驅(qū)動各級轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子和氣缸之間形成周期性變化的容積腔。氣體從吸氣口被吸入一級壓縮腔，隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動，氣體被逐級輸送到后續(xù)壓縮腔，每經(jīng)過一級，氣體體積被壓縮、壓力升高，最終從排氣口排向大氣。

整個過程中，轉(zhuǎn)子和氣缸之間保持微米級間隙，無機械接觸，因此無需潤滑油參與密封和潤滑。這種非接觸式運轉(zhuǎn)不僅保證了氣體的潔凈度，也大幅降低了機械磨損和發(fā)熱。

當需要抽除水蒸氣時，用戶可開啟氣鎮(zhèn)閥，向壓縮腔內(nèi)注入適量干燥氣體，以降低水蒸氣的分壓，防止其在低于露點時凝結(jié)，從而確保水蒸氣被順利排出泵外。

廣泛的應用領(lǐng)域

CR300B憑借其潔凈無油、高極限真空和風冷節(jié)能的特性，在多個高制造和科研領(lǐng)域發(fā)揮著核心作用。

• 半導體與電子器件制造：用于濺射設(shè)備、蒸鍍設(shè)備、刻蝕設(shè)備等工藝腔室的真空排氣。潔凈無油的環(huán)境確保晶圓和器件不受碳氫化合物污染，保障產(chǎn)品良率。

• 真空鍍膜與表面處理：適用于光學鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜等各類真空鍍膜機的粗抽及維持真空，為制備高質(zhì)量薄膜提供清潔的真空基礎(chǔ)。

• 真空干燥與冷凍干燥：在制藥、食品、生物制品等領(lǐng)域的真空干燥設(shè)備中，CR300B可配合氣鎮(zhèn)機構(gòu)高效抽除大量水蒸氣，顯著縮短干燥時間，提高生產(chǎn)效率。

• 科研與通用真空設(shè)備：作為各類真空系統(tǒng)的前級泵或維持泵，用于抽取空氣、惰性氣體等潔凈氣體，廣泛應用于材料科學、表面物理、空間模擬等研究領(lǐng)域。

結(jié)語

日本ULVAC愛發(fā)科CR300B多級羅茨型干泵，是一款將多級羅茨壓縮技術(shù)與無油設(shè)計深度融合的真空獲得設(shè)備。它以300 m3/h的大抽速、≤0.5 Pa的高極限真空和風冷零水耗的運行特性，為半導體、鍍膜、干燥等領(lǐng)域提供了清潔可靠的真空動力。非接觸式轉(zhuǎn)子運轉(zhuǎn)確保了長期穩(wěn)定的使用壽命，DC密封電機實現(xiàn)了節(jié)能與輕量化的平衡，而氣鎮(zhèn)機構(gòu)的可選配置則賦予其處理水蒸氣的靈活能力。在現(xiàn)代工業(yè)對真空環(huán)境潔凈度與運行經(jīng)濟性要求日益提升的背景下，CR300B以其扎實的性能和可靠的品質(zhì)，成為中大規(guī)模真空系統(tǒng)的理想選擇。