在半導體芯片的納米級雕琢中，在電子顯微鏡對原子世界的凝視下，甚至在關乎生命健康的制藥凍干過程中，一個穩定、潔凈、安靜的真空環境是所有精密操作無可動搖的基石。任何微小的振動、油污的逆流或壓力的波動，都可能導致整批實驗失敗或生產線良率下滑。正是在對“穩定"的追求下，日本愛發科（ULVAC）推出的GLD-137系列高功能低振動油回轉真空泵，從眾多工業泵中脫穎而出，它并非以蠻力取勝，而是憑借其的低振動、低噪音特性與高可靠性設計，成為支撐制造業與科研的“靜默力量"。

一、核心定位：為精密場景而生的高功能解決方案

ULVAC GLD-137系列，具體包括GLD-137AA和GLD-137CC等型號，是一款緊湊型兩級油旋片式真空泵。其設計哲學非常明確：在滿足優良真空性能的同時，大限度地減少設備自身對精密工作環境的干擾。

傳統真空泵在運行時產生的振動和噪音，會通過臺面或空氣傳遞，干擾精密儀器的測量精度（如電子顯微鏡成像），或影響敏感工藝的穩定性（如薄膜沉積）。GLD-137系列直擊這一痛點，將 “高性能、低振動、低噪聲" 作為其核心系列特點，并集成了多項提升可靠性與易用性的高功能設計。它不僅是抽氣工具，更是保障整個系統精密運行的關鍵環境組件。

二、技術縱深：剖析低振動與高功能背后的工程智慧

GLD-137系列的表現，源于一系列相輔相成的核心技術設計：

1. 精密的機械與流體動力學設計：作為兩級排氣系統的油回轉泵，其真空性能相比單級泵有質的飛躍。它通過串聯兩個工作室，能實現更低的極限壓力（在氣鎮閥關閉時可達0.67 Pa），提供“良好的真空"。更重要的是，多級結構和精密的動平衡校正，從根源上抑制了機械振動。同時，強制供油機構確保了在所有工作壓力下，旋轉部件都能得到充分、穩定的潤滑與冷卻，這不僅保障了排氣速度的穩定，也減少了因潤滑不均可能產生的摩擦振動與磨損。

2. 全面的安全與防污染機制：對于連接著昂貴真空腔體的應用而言，泵的自我保護與防反流能力至關重要。GLD-137內置的防回流機構，能在停電等突發停機瞬間自動阻止泵油逆流回真空室，有效保護腔體和工作免受油污染。此外，其設計允許在大氣壓下直接啟動，操作簡便，無需復雜的預抽流程。

3. 人性化與適應性設計：系列配備了寬電壓電機，能自動適應不同地區的電網標準（如100V-240V或200V-460V），提升了設備的部署能力。大號油位計使油量檢查一目了然，而內部定位銷的設計則讓連接法蘭部件變得更加容易，降低了安裝維護的技術門檻。

三、型號解析：GLD-137AA與GLD-137CC的關鍵抉擇

GLD-137系列主要提供AA和CC兩種型號，其核心真空性能一致，但電機設計和認證標準不同，以滿足多樣化的用戶需求。下表清晰地對比了兩者的關鍵區別：

四、應用譜系：從科研前沿到工業核心

得益于其低振動和高可靠性，GLD-137系列已成為多個高精尖領域的前級泵或輔助泵：

• 半導體與平板顯示制造：用于濺射鍍膜（PVD）、真空蒸發、干法刻蝕等設備的抽氣系統，其潔凈和穩定的運行是保障薄膜均勻性與工藝重復性的關鍵。

• 分析儀器：作為電子顯微鏡（SEM、TEM）、激光光譜儀、表面分析儀等設備的真空維持泵，其極低的振動確保了高分辨率成像不受干擾。

• 制藥與生物工程：為冷凍干燥機（凍干機）、真空干燥箱提供穩定真空環境，其防油回流特性杜絕了藥品或生物樣本被污染的風險。

• 科研與綜合儀器：廣泛配套于各類分析儀器、科學實驗裝置及小型真空排氣機組中。

五、可靠性的延續：操作維護要點

為確保GLD-137系列長期保持其“靜默之力"，用戶需遵循以下關鍵維護指南：

1. 油品管理：必須使用指定的SMR-100真空泵油（容量1000mL），并定期檢查油質和油量。油品劣化是性能下降的主因。

2. 壓力限制：不適合在10kPa以上的高吸入壓力下連續運轉，以免電機過載和油溫過高。

3. 安全警告：嚴禁在關閉排氣口或排氣堵塞的情況下運行，否則可能導致泵體爆裂的嚴重危險。對于AA型號，需額外使用外部電機斷路器進行保護。

結語

ULVAC GLD-137系列真空泵的成功，在于它精準地洞察了精密工業領域超越“抽真空"本身的深層需求——對環境“零"干擾的渴望。它通過精密的機械設計將振動與噪音降至低，又以防回流、寬電壓等高功能設計筑起可靠性與易用性的高墻。在那些對穩定有著苛刻要求的實驗室和產線里，GLD-137系列如同一個無聲而堅實的背景，讓前沿科技得以在其搭建的寧靜舞臺上，從容演繹出無限精彩。選擇它，不僅是選擇一個抽氣部件，更是為整個精密系統選擇了一份值得信賴的穩定性保障。