在半導體和電子設備制造領域，ULVAC愛發科隔膜型干泵以其清潔無油的獨特優勢，成為維持高純度真空環境的關鍵技術。

在現代科技產業中，從芯片制造到醫療器械，許多精密工藝過程都離不開可靠的真空環境。隔膜型干泵作為獲得清潔真空的關鍵設備，因其無油污染的特性，已成為半導體、電子器件等制造業的基礎裝備。

01 隔膜型干泵的工作原理：清潔排氣的精密機械

隔膜型干泵，也稱為膜片型干泵，是一種利用隔膜往復運動進行排氣的機械真空泵。其核心設計在于實現了無油的氣體輸送，從根源上避免了油氣對真空環境的污染。

核心驅動機制：當偏心軸（轉子）旋轉時，動力通過連桿傳遞至隔膜。這種精巧的機械設計將電機的旋轉運動轉化為隔膜的直線往復運動。

氣體輸送過程：隨著隔膜上下反復運動，泵腔容積發生周期性變化。氣體從進氣口被吸入，然后被強制推向排氣口，實現定向流動。

單向流動保證：泵的每個口都裝有閥門結構，確保氣體始終沿同一方向輸送，防止倒流，從而形成穩定的真空環境。

與使用油類或其他工作液體的真空泵不同，隔膜型干泵在所有氣體接觸部位均未使用油類介質，保證了排氣的清潔性，非常適用于對油蒸氣零容忍的應用場景。

02 產品系列與規格：滿足多元需求的全面解決方案

ULVAC愛發科提供多種型號的隔膜型干泵，根據結構和功能差異，主要可分為三大類：

一段式排氣泵：具有兩個并聯的泵室以增加排量。代表性型號包括DAP-12S、DA-60S、DAT-100S等。這類泵型適用于需要較高排氣速度的應用場景。

二段式排氣泵：采用兩個串聯的泵室結構，提高壓縮比，從而獲得更佳的極限壓力。主要型號有DAP-6D、DA-30D、DAT-50D等。二段式設計相比一段式具有更低的極限壓力，能提供更好的真空度。

耐腐蝕規格泵：專門針對腐蝕性環境設計，所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料。DTC系列是其代表，如DTC-60、DTC-22K等型號，適合吸排有腐蝕性或有機溶劑氣體。

不同型號的隔膜泵在抽速、極限壓力、電機功率等參數上形成梯度，滿足從基礎研究到工業生產的各種需求。以DAP-6D為例，其抽氣速率達6L/min（50Hz），馬達功率為10W；而DTC-60的抽速可達60L/min，馬達功率為100W。

03 應用領域：多行業的關鍵真空解決方案

隔膜型干泵憑借其清潔無油的特點，在多個行業發揮著關鍵作用：

半導體和電子器件制造業：在蝕刻設備、去膠設備、離子清洗設備等工藝環節的真空排氣系統中。隨著半導體制造業和電子設備工業的快速發展，對隔膜真空泵的需求也在增加。

工業自動化領域：廣泛用于真空吸盤、薄膜吸附、自動化輸送設備，提供可靠的吸附力，實現物料的精準搬運與定位。

醫療與食品行業：適用于醫療器械、真空鑷子、冷凍干燥設備和真空干燥設備，滿足這些行業對衛生和高潔凈度的嚴格要求。

通用工業領域：在包裝機械、印刷機械、光學機械等多種設備中提供穩定的真空源。

特殊工藝應用：同樣適用于真空濃縮、過濾、脫氣消泡等工藝環節，以及鋰電池制造中的電極干燥設備、脫泡設備、注液設備。

04 技術特點與優勢：為何選擇隔膜型干泵

隔膜型干泵在眾多真空泵技術中脫穎而出，得益于其多方面的技術優勢：

清潔無污染：不使用油或液體，消除了油蒸氣對工藝過程或最終產品的污染風險，特別適合對潔凈度要求高的應用。

維護簡便：泵體結構采用無油環境設計，因此維護簡單。簡單的構造，便于維護與保養。

緊湊輕便：隔膜型干泵通常具有小型化特點，如DAP-6D尺寸僅為91(W) × 163(L) × 100.6(H) mm，方便集成到各種設備中。

安全可靠：產品內置自動復位型熱保護器等安全設計，部分型號還配備過熱保護器，確保長時間運行的穩定性。

耐腐蝕性能：針對特殊應用場景，耐腐蝕型號所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料，能夠處理腐蝕性氣體和有機溶劑。

能效優異：部分型號（如DAP-6D）功率僅10W，卻在提供所需真空性能的同時保持低能耗，有助于降低運行成本。

05 發展前景與創新方向

隨著科技產業的發展，隔膜型干泵面臨新的機遇與挑戰：

材料創新：通過開發新型耐腐蝕、耐磨損材料，進一步提高泵的使用壽命和可靠性，尤其是在處理腐蝕性介質的應用場景。

結構優化：愛發科已在模塊化集成、多驅動腔部分非 coaxial 干式真空單泵等領域進行布局，旨在提高泵的效率和性能。

應用領域拓展：隨著半導體制造業和電子設備工業的快速發展，對隔膜真空泵的需求也在增加，同時在新興領域如鋰電池制造也在不斷拓展。

智能化集成：未來可能集成更多傳感器和智能控制單元，實現狀態監測和預測性維護，提升設備智能化水平。

從智能手機的芯片到醫療設備的精密部件，ULVAC愛發科隔膜型干泵在無數高科技產品的制造過程中扮演著的角色。隨著科技不斷進步，對清潔真空環境的需求只會日益增長，隔膜型干泵的技術革新將繼續支撐著未來制造業的發展