ULVAC愛發科的多級羅茨型干泵CR60B（包括CR60B-S和CR60B-T型號）以其干式運行和多級羅茨結構為核心特點，通過在泵腔內進行多級壓縮來實現真空獲取。它采用了空冷設計，并且排氣室內不使用真空油

?? 處理可凝性蒸汽（如水蒸氣）：CR60B可選配氣鎮機構（BALLEST機構）。該功能允許向泵的壓縮區注入少量干燥氣體（如空氣或氮氣），旨在提高氣體混合物的非可凝成分比例，從而降低蒸汽的分壓，使其在達到飽和前被排出。但這會輕微增加極限壓力。因此，在需要處理大量水蒸氣的應用（如真空干燥）中，強烈建議啟用氣鎮功能。

?? CR60B系列的主要技術與特點

• 干式無油運行：泵腔內部不使用任何潤滑油或密封液，避免了油氣污染、油氣反應，同時可以避免氣體中的水分、氧氣和雜質對泵的腐蝕，確保了泵的高可靠性和長壽命。

• 多級羅茨結構：CR60B采用了多級葉輪，這種結構可以大大提高泵速和抽氣效率，并且使泵能夠直接從大氣壓開始抽氣，并達到較高的極限真空度（CR60B-S極限壓力≤3.0 Pa，CR60B-T極限壓力≤0.5 Pa）。

• 空冷式設計：無需額外的冷卻水和氮氣連接，減少了配套設施的需求，有助于降低運行成本和簡化安裝。

• DC密封電機：安裝了DC密封電機實現節能、氣密和減重。

• 非接觸式運行：轉子和汽缸是以非接觸方式運行的，這可以長時間穩定運行。

?? 主要應用領域
得益于其清潔、無油的特性，CR60B系列干泵非常適合以下領域：

• 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣。

• 真空干燥等水蒸氣的排出（此應用時需要啟用氣鎮機構）。

• 濺射，蒸發等真空設備。

?? 總結
ULVAC愛發科CR60B多級羅茨型干泵通過多級羅茨結構實現氣體的逐級壓縮，其干式無油和空冷設計使其能提供清潔的真空環境，并有效降低運行成本?？蛇x配的氣鎮功能則增強了其處理可凝性蒸汽（如水蒸氣）的能力。